硫酸

用途：

在集成电路制作过程中，基片表面的金属杂质可能会扩散进入基片，导致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉积金属前，确保基片表面没有金属杂质是极为重要的。因为盐酸能和大多数金属反应形成水溶性的盐，然后被水清洗去除，所以使用高纯盐酸进行清洗可有效降低金属杂质。

急救：

吸入：迅速脱离现场至新鲜空气处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 食入：误服者用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。 皮肤接触：立即脱去被污染衣着，用大量流动清水冲洗，至少15 分钟。就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15 分钟。就医。

灭火：

灭火方法： 燃烧性：不燃 灭火剂：水。 灭火注意事项：消防人员必须佩戴氧气呼吸器、穿全身防护服。用碱性物质如碳酸氢钠、碳酸钠、消石灰中和。